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如何進(jìn)行掩膜版清洗

合明科技 ?? 2359 Tags:掩膜版清洗掩膜版清洗劑如何進(jìn)行掩膜版清洗

如何進(jìn)行掩膜版清洗

光刻掩膜版(又稱光罩,英文為Mask Reticle),簡(jiǎn)稱掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過(guò)曝光過(guò)程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。

在無(wú)數(shù)次的曝光與轉(zhuǎn)移過(guò)程中,掩膜版不可避免地會(huì)遭遇污染,其清潔度與完整性直接關(guān)乎到最終產(chǎn)品的質(zhì)量與性能。

接下來(lái)合明科技小編跟大家一起探討掩膜版清洗的奧秘,希望能對(duì)您有所幫助!

掩膜版清洗.png

一、掩膜版的重要性

掩膜版作為圖形轉(zhuǎn)移的關(guān)鍵工具,其重要性不言而喻。它不僅是連接設(shè)計(jì)與制造的橋梁,更是確保半導(dǎo)體器件特征尺寸精確控制的核心。在芯片制造流程中,掩膜版上的圖形通過(guò)曝光工藝被精確復(fù)制到硅片表面,形成所需的電路圖案。因此,掩膜版的任何微小瑕疵,如污染、劃痕或缺陷,都可能對(duì)最終產(chǎn)品的性能產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響,甚至導(dǎo)致整批產(chǎn)品的報(bào)廢。

二、掩膜版污染的來(lái)源與影響

掩膜版在使用過(guò)程中,可能遭受多種形式的污染,包括但不限于空氣中的微粒、有機(jī)殘留物、金屬離子、水分以及化學(xué)試劑的殘留等。這些污染物不僅會(huì)影響掩膜版的透光性和圖形精度,還可能引發(fā)光刻過(guò)程中的缺陷,如線條寬度變化、圖形扭曲或缺失等。特別是油污類污染,由于其粘性強(qiáng)、難以徹底清除,往往成為掩膜版清洗的一大難題。

三、掩膜版清洗

傳統(tǒng)的掩膜版清洗方法在面對(duì)油污類污染時(shí)顯得力不從心,需要反復(fù)清洗,不僅增加了清洗成本,還可能對(duì)掩膜版造成機(jī)械損傷,如表面粗糙度增加、圖形邊緣模糊等。現(xiàn)在掩膜版清洗采用的是溫和中性的水基清洗方案,水基清洗劑對(duì)油污類污染表現(xiàn)出卓越的清洗效果,能夠更徹底地清除掩膜版表面的頑固污漬,同時(shí)減少對(duì)掩膜版的物理?yè)p傷。水基清洗方案在保證清洗效果的同時(shí)還大大降低了成本。

掩膜板清洗劑.png

掩膜版清洗劑W3210介紹

掩膜版清洗劑W3210是合明自主開(kāi)發(fā)的PH中性配方的電子產(chǎn)品焊后殘留水基清洗劑。適用于清洗PCBA等不同類型的電子組裝件上的焊劑、錫膏殘留,包括 SIP、WLP等封裝形式的半導(dǎo)體器件焊劑殘留。由于其PH中性,對(duì)敏感金屬和聚合物材料有絕佳的材料兼容性。

掩膜版清洗劑W3210的產(chǎn)品特點(diǎn):

1、PH 值呈中性,對(duì)鋁、銅、鎳、塑料、標(biāo)簽等敏感材料上顯示出絕佳的材料兼容性。

2、用去離子水按一定比例稀釋后不易起泡,可適用于噴淋、超聲工藝。

3、不含鹵素,材料環(huán)保;氣味清淡,使用液無(wú)閃點(diǎn),使用安全,不需要額外的防爆措施。

4、由于PH中性,減輕污水處理難度。

掩膜版清洗劑W3210的適用工藝:

W3210水基清洗劑適用于在線式或批量式噴淋清洗工藝,也可應(yīng)用于超聲清洗工藝。

掩膜版清洗劑W3210產(chǎn)品應(yīng)用:

W3210可以應(yīng)用于不同類型的焊劑殘留的水基清洗劑。產(chǎn)品為濃縮液,清洗時(shí)可根據(jù)殘留物的清洗難易程度,用去離子水稀釋后再進(jìn)行使用,安全環(huán)保使用方便,是電子精密清洗高端應(yīng)用的理想之選。

具體應(yīng)用效果如下列表中所列:

W3210


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